Sputtering prozesuak iturri-material bat, jomuga izenekoa, lurruntzen du, erdieroaleen, beiraren eta pantailen gainean film mehe eta errendimendu handiko bat uzteko. Jomugaren osaerak zuzenean definitzen ditu estalduraren propietateak, eta horrek materialaren hautaketa funtsezkoa bihurtzen du.
Metal sorta zabala erabiltzen da, bakoitza abantaila funtzional espezifikoengatik hautatuta:
Elektronikarako eta tarteko geruzetarako oinarrizko metalak
Purutasun handiko kobrea bere eroankortasun elektriko bikainagatik preziatua da. % 99,9995eko kobre puruko helburuak ezinbestekoak dira mikrotxip aurreratuen barruko kableatu mikroskopikoak (interkonexioak) sortzeko, non erresistentzia elektriko minimoa funtsezkoa den abiadura eta eraginkortasunerako.
Nikel puruak lan-zaldi polifazetikoa balio du. Batez ere itsaspen-geruza bikain eta difusio-hesi fidagarri gisa erabiltzen da, material desberdinak nahastea eragotziz eta geruza anitzeko gailuen egitura-osotasuna eta iraupena bermatuz.
Wolframioa (W) eta Molibdenoa (Mo) bezalako metal errefraktarioak beroarekiko erresistentzia eta egonkortasun handiagatik baloratzen dira, eta askotan difusio-hesi sendo gisa eta ingurune zorrotzetan kontaktuetarako erabiltzen dira.
Metal funtzional espezializatuak
Zilarrezko purutasunak metal guztien artean eroankortasun elektriko eta termiko handiena eskaintzen du. Horregatik, aproposa da ukipen-pantailetan elektrodo oso eroale eta gardenak jartzeko, eta energia aurrezteko leihoetan estaldura islatzaile eta emisibitate baxukoak jartzeko.
Urrea (Au) eta platinoa (Pt) bezalako metal preziatuak kontaktu elektriko oso fidagarri eta korrosioarekiko erresistenteak egiteko eta sentsore espezializatuetan erabiltzen dira.
Titanioa (Ti) eta Tantaloa (Ta) bezalako trantsizio-metalak funtsezkoak dira atxikimendu eta hesi-propietate bikainak dituztelako, askotan substratuaren oinarrizko geruza eratzen baitute beste materialak aplikatu aurretik.
Material multzo anitz honek teknologia modernoa ahalbidetzen duen arren, kobrearen errendimendua eroankortasunerako, nikelaren fidagarritasunerako eta zilarraren islagarritasun gorenerako paregabea da dagokien aplikazioetan. Purutasun handiko metal hauen kalitate koherentea da errendimendu handiko geruza meheko estalduren oinarria.
Argitaratze data: 2025eko azaroaren 24a
